無氧烘箱工藝方面有什么要求？

06/24

2022

　　無氧烘箱也稱無塵工業(yè)烘箱、潔凈工業(yè)烘箱，是一種通過高溫、低氧、潔凈技術(shù)環(huán)境的特殊潔凈無塵烘干處理設(shè)備。烘箱進行內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部可以采用無塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作以及室內(nèi)設(shè)計處于低氧、潔凈系統(tǒng)狀態(tài);箱內(nèi)空氣相對封閉自循環(huán)，經(jīng)耐高溫高效發(fā)展空氣過濾器(100級)反復過濾，使烘箱工作對于室內(nèi)空間處于無塵狀態(tài)。工作作為室內(nèi)溫度由溫控儀自動管理控制，并有一個自動恒溫及時間成本控制生產(chǎn)裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及報警模塊電路，控制提供可靠，使用網(wǎng)絡安全。

　　無氧烘箱的使用方法：

　　無氧烘箱應用舉例:：在半導體芯片加工的過程中，隨著頻率速率等微電子加工領(lǐng)域以及高速通信等頻率和速度的提高，對芯片尺寸、寄生效應參數(shù)、可靠性和絕緣性的要求越來越高，需要一種新型材料來滿足芯片加工的要求。而 bcb(苯并環(huán)丁烯)是滿足各種性能良好的材料要求的光敏抗蝕劑，具有低介電常數(shù)的特性。然而bcb 膠粘劑的固化過程非常重要。

無氧烘箱

　　無氧烘箱的工藝要求：

　　1.在外延片表面涂覆光敏BCB膠，通過光刻在外延片表面形成光敏BCB膠圖形;

　　2.采用不同等離子體反應進行刻蝕技術(shù)處理外延片表面的光敏BCB膠;

　　3.蝕刻的外延片進入真空氧爐，進入N2真空置換，采用多級加熱絕緣的方式，在從室溫到第一溫度階段的規(guī)定時間，在溫度段1-2h，然后在從第一溫度到第二溫度階段的規(guī)定時間，并在溫度段一定時間;

　　4.然后增加輔助冷卻系統(tǒng)(水冷和風冷)，使退火爐溫度降低到80度左右，完成固化。

　　無氧烘箱用于pi膠、bcb膠固化、粘結(jié)材料預處理、ito膜退火、pr膠排硫化等特殊工藝。適用于lcd，lcd，cmos，ic，pcb，半導體封裝，制藥，實驗室及其他生產(chǎn)和研究部門。

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無氧烘箱工藝方面有什么要求？